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至纯科技:公司与高纯气体相关的业务包括高纯气体设备及系统、大宗均可用于客户12英寸28纳米及以下产线纯度
发布时间:2025-06-25 作者:公司新闻

  公司回答表示,您好,公司与高纯气体相关的业务包括高纯气体设备及系统、大宗气体,均可用于客户12英寸28纳米及以下产线次特气中标结果中,公司气体设备及系统的市占率是48.8%,在为诸多一线寸晶圆厂服务的过程中,公司积累了大量的技术和经验,有效替代并改变了原先由境外公司垄断的供给格局。 公司大宗高纯气体业务是紧邻客户晶圆厂设计建设大宗气站,为用户提供一对一的至少15年的高纯大宗气体供应,气体种类主要包括氮气、氢气、氧气、氩气、氦气、二氧化碳等,需24小时不间断供应,纯度波动需控制在十亿分之一(ppb)级别。根据客户产线运行情况定期收取固定租赁费用及气体用量费用,具体视协议约定情况而定。由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的12英寸晶圆对应28纳米的大宗气体供应工厂指标完全达标,从2022年初至今持续稳定运行,成功打破了半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局,实现了该制程节点国内自主大宗气站零的突破。目前公司第二座大宗气站于2024年上半年已开始为客户提供供气服务。

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